金刚石具有的优异的导热和绝缘等性能，成为新一代大功率芯片和器件散热的关键材料。将芯片直接与金刚石键合来降低结温，被视为高性能芯片及3D封装的理想热管理方案。通常，金刚石薄膜合成是以Si作为基板材料，合成后通过化学刻蚀去除Si基板进而得到金刚石“自支撑”薄膜。此前，中国科学院宁波材料技术与工程研究所研发团队，制备出超低翘曲的4英寸金刚石“自支撑”超薄膜。
近期，该团队在金刚石超薄膜高效剥离技术上再次取得进展，发展出4英寸级超低翘曲金刚石超薄膜的“自剥离”技术。通过对金刚石薄膜初期形核、生长的精准调控与工艺创新，合成后的4英寸金刚石膜（厚度<100μm），经切槽后，在无需任何外力辅助条件下，仅凭金刚石薄膜自身重力，便可实现其与Si基板无损伤、完美分离，制备出平坦的“自支撑”超薄膜。该技术使剥离时间由原来刻蚀需要的数小时缩短到几分钟，降低了成本、提高了速度，克服了化学刻蚀的带来环境危害，开辟了高导热、金刚石“自支撑”超薄膜的高效绿色制造的新途径。
同时，团队将915MHz大功率MPCVD的金刚石沉积面积扩展到12英寸，实现了低应力、超低翘曲4英寸金刚石薄膜的单机5片同时合成。结合上述高效“自剥离”技术，为“自支撑”金刚石薄膜的工业化批量生产奠定了装备与工艺基础。
激光外周边切槽；金刚石薄膜剥离
MPCVD合成12英寸金刚石薄膜；单机合成5片4英寸金刚石薄膜
近日，在瑞典斯德哥尔摩召开的第62届国际先进材料大会波罗的海系列会议上，国际先进材料协会（IAAM）为中国科学院大学长聘教授 本报讯（记者 郑翅）教育部近日印发《2025年全国硕士研究生招生工作管理规定》，部署各地各招生单位做好2025年全国硕士研究生考试招生工作。2025年全国硕士研究生招生考试初试时间为2024年12月21日至22日，考试时长为6小 11月13日，安徽省亳州市蒙城县“曲艺进校园”活动走进蒙城一中，让学生们近距离了解曲艺文化、感受曲艺魅力，培养文化自信，丰富校园文化生活。近年来，蒙城县通过开展戏曲、曲艺以及楹联等形式多样的 新华网北京11月14日电 今日，教育部举办新闻发布会， 教育部职业教育与成人教育司司长彭斌柏介绍了我国职业教育改革发展的总体情况。彭斌柏介绍，党的十八大以来，在以习近平同志为核心的党中央坚强 新华社利马11月14日电 当地时间11月14日，在赴利马对秘鲁进行国事访问并出席亚太经合组织第三十一次领导人非正式会议之际，国家主席习近平在《秘鲁人报》发表题为《让中秘友好之船扬帆远航》的 中国教育报-中国教育新闻网讯（记者 周仕敏 通讯员 张聪 李星亚）“作品中憨态可掬的熊猫形象，生动展现了中华饮食文化的独特魅力。”2024中国—东盟职业院校学生烹饪技能大赛，来自香港特别行政区 。本文链接：4英寸金刚石“自支撑”超薄膜快速制备成功实现http://www.sushuapos.com/show-12-2099-0.html
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