高性能微机电系统红外光源作为非色散红外气体传感器的核心部件，具有重要应用价值。现有微机电系统红外光源存在辐射区温度均匀性差、功耗高等问题。
近日，中国科学院微电子研究所研究团队提出了基于8英寸晶圆级工艺的单片集成红外光源结构，通过引入Al纳米颗粒修饰的纳米森林作为高发射率辐射层，提升了器件在目标波长的红外发射能力。团队结合微加热器几何形状的迭代优化设计，解决了传统光源温度分布不均问题，在降低功耗密度的同时提高了运行效率 。该红外光源已应用于集成化非色散红外检测系统，在温室环境下实现了对植物光合与呼吸作用致气体浓度波动的实时监测，为智慧农业提供了低功耗的新型硬件支撑。
相关研究成果在线发表在《能源与环境材料》（Energy & Environmental Materials）上。研究工作得到国家自然科学基金、国家重点研发计划、中国科学院相关项目等的支持。
基于8英寸晶圆级工艺的红外光源及其纳米森林辐射层材料
随着公众号、抖音、快手等一众新媒体平台强势崛起，有不少本科生没有走传统的找工作上班路线，而是选择自己做新媒体，通过文 中国科学技术大学中国科学院微观磁共振重点实验室杜江峰院士、荣星教授等在量子热力学领域取得重要进展。研究组基 近年来，笔者先后在北京、江苏、山东、陕西、河南、黑龙江、云南等地多所重点高中进行复习课教学指导，与相关学校高三年级的各学科教师就课堂观察情况进行座谈交流。笔者发现，不少复习课都一 中国教育报-中国教育新闻网讯（通讯员 廖钗勤 记者 蒋亦丰）最近，浙江省海宁市黄湾镇中心幼儿园举办了一场趣味盎然的“重走长征路”活动。活动中，幼儿们身着迷彩短袖，手拿地图，兴致勃勃地扫“地雷” 中国教育报-中国教育新闻网讯（记者 余闯）11月13日，“放飞梦想”波音航空科普教育项目15五周年庆典活动在北京举行。波音全球集团相关负责人在致辞中表示，自2009年创立至今，“放飞梦想”项目走入17 习近平总书记在全国教育大会上强调，要深入推动教育对外开放，统筹“引进来”和“走出去”，不断提升我国教育的国际影响力、竞争力和话语权。南京工业职业技术大学前身是黄炎培先生于1918年创建的 。本文链接：高性能微机电系统红外光源研究取得进展http://www.sushuapos.com/show-12-2540-0.html
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