高性能微机电系统红外光源作为非色散红外气体传感器的核心部件，具有重要应用价值。现有微机电系统红外光源存在辐射区温度均匀性差、功耗高等问题。
近日，中国科学院微电子研究所研究团队提出了基于8英寸晶圆级工艺的单片集成红外光源结构，通过引入Al纳米颗粒修饰的纳米森林作为高发射率辐射层，提升了器件在目标波长的红外发射能力。团队结合微加热器几何形状的迭代优化设计，解决了传统光源温度分布不均问题，在降低功耗密度的同时提高了运行效率 。该红外光源已应用于集成化非色散红外检测系统，在温室环境下实现了对植物光合与呼吸作用致气体浓度波动的实时监测，为智慧农业提供了低功耗的新型硬件支撑。
相关研究成果在线发表在《能源与环境材料》（Energy & Environmental Materials）上。研究工作得到国家自然科学基金、国家重点研发计划、中国科学院相关项目等的支持。
基于8英寸晶圆级工艺的红外光源及其纳米森林辐射层材料
中国科学技术大学中国科学院微观磁共振重点实验室杜江峰院士、荣星教授等在量子热力学领域取得重要进展。研究组基 浙江德清莫干山镇中心学校的学生们在大课间时跳竹竿舞。 资料图片 实现基本均衡后，我国义务教育的发展目标正向优质均衡迈进。到2035年，绝大多数县（市、区、旗）域将实现义务教育优 中国教育报-中国教育新闻网讯（记者 方梦宇）记者日前从中国科学技术大学获悉，该校与合肥国家实验室相关研究人员合作，利用激光冷原子方法制备成基于自旋的薛定谔猫态，其寿命达到分钟量级，有助于提升 中国教育报-中国教育新闻网北京11月11日讯（记者 林焕新）如何保障特殊儿童接受学前教育，事关教育公平。在今天教育部召开的新闻发布会上，江苏省教育厅副厅长顾月华介绍了学前教育法对此的有关规定 “我要做三个香包，送给爸爸、妈妈和外婆！”幼儿小花（化名）在家长义工的帮助下，将研磨好的香材放入布袋中，小小香包承载了亲子间浓厚的温情。走入广州市越秀区东方红幼儿园，一轮“明月”耀眼夺目，两只 中国教育报-中国教育新闻网讯（记者 杨国良）11月10日，由中国汽车工程学会、重庆市教育委员会、重庆市璧山区人民政府主办，重庆机电职业技术大学等承办的2024职业院校汽车专业教师能力大赛落幕。重 。本文链接：高性能微机电系统红外光源研究取得进展http://www.sushuapos.com/show-12-2540-0.html
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