随着AI、人形机器人等行业的爆发式发展,半导体产业迎来巨量增长空间,预计2030年其市场规模将突破1万亿美元大关。
半导体产业是以硅、锗、氮化镓等半导体材料为基础的战略性支柱产业,也是典型的技术密集、资金密集型产业。其制造工艺复杂,涵盖硅片制造、芯片设计、光罩制作、芯片制造、封装测试等环节的上千道工序,下游涉及集成电路、显示面板、医疗健康、消费电子、照明、通信、光伏、新能源汽车等众多应用领域。
由于半导体晶圆制程的不断发展,线宽越来越窄,对生产工艺的要求也越来越高,这些因素都对半导体晶圆工厂各个系统的持续无故障运行能力以及所提供给生产工艺制程相关的原料的品质提出了更高的要求。
在半导体生产制造过程中,电子气体是仅次于硅片的第二大制造材料,品类多达上百种,被誉为“芯片血液”。电子气体包括电子大宗气体和电子特种气体两大类,其中电子大宗气体是生产制造过程中的环境气、保护气和载体,而电子特种气体主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等芯片制造工艺之中。与此同时,在半导体生产制造过程中,还可能产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一般尾气等气体。
电子气体与废气多为易燃易爆、有毒有害、腐蚀性、窒息性气体,而半导体制造车间多为无尘密闭环境,且配备回风系统,一旦发生危险气体泄漏,哪怕是非常微小的泄漏,也可能引起爆炸、人员窒息或中毒事故。因此,用气安全问题不容忽视,必须进行气体检测。《特种气体系统工程技术标准》(GB50646-2020)中有强制性规定,储存、输送、使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置:
①自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处;
②生产工艺设备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体阀门箱的排风管口处,工艺设备的排风管口处;
③生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处;
④惰性气体间可能产生窒息的区域;
⑤自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体设备间;
⑥其他可能发生泄漏的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体的环境。
此外,该标准还对报警设定值、响应时间、安装位置等进行了相关规定。
汉威科技集团推出的半导体工厂气体检测仪GD-HS10,是一款专门用于检测半导体工厂中可燃、有毒、有害气体泄漏的高端产品,具有高灵敏度、高可靠性、低浓度检测等特点,可检测氨气、砷化氢、氯气、硅烷等上百种气体,适用于半导体、液晶面板、光伏和电池制造等行业。据悉目前该产品已经成功应用于多家半导体行业制造工厂,并获得用户的一致认可。
高精度微小泄漏检测。每种气体都有对应的温度补偿及融合算法,零点自动校准,可实现精准微小泄漏检测,性能达行业领先水平。
支持上百种气体。支持电化学、催化燃烧、光学等多种原理传感器,支持上百种气体,可满足客户个性化检测需求。
电磁泵吸设计。采用电磁泵吸原理吸气,磨损小,寿命长,流量恒定,30米超长进气管,快插接头设计,安装便捷。
点阵式LCD大屏显示。界面美观易读,气体名称、浓度、报警情况等一目了然,适合国内用户习惯。
后摩尔时代,半导体行业的生产工艺难度不断加大,生产制造成本不断升高,电子特种气体的成本占比高达13%,部分高端进口气体价格非常昂贵,每公斤价格可达数万元,气体泄漏不仅会造成财产损失,还可能造成工伤事故。在此背景下,半导体工厂气体检测仪将成为刚需产品,并在半导体企业安全生产和降本增效过程中发挥重要作用。(东方网)
新快报讯 人间三月,姹紫嫣红,一年中最美丽的节日——第114个“三八”国际妇女节即将来临。3月2日,由东莞市妇联、东莞市委政法委指导,东莞市妇女儿童福利会、麻涌镇妇女联合会协办,广东嘉荣超市有限公司、金佰利(中国)有限公 南方财经全媒体记者张雅婷 广州报道国务院总理李强3月5日在政府工作报告中指出,努力建设人民满意的法治政府、创新政府、廉洁政府和服务型政府,全面履行好政府职责。在全面提高行政效 近日,七部门联合印发《关于实施高技能领军人才培育计划的通知》,要求贯彻国家战略人才力量,努力培养造就更多大国工匠、高技能人才的战略部署,进一步扩大高技能人才数量规模,提升素质水平,从2024年到2026年 2024年1月,杭州虚之实科技有限公司(简称"虚之实")接连受到国际认可!其核心产品之一的VR认知功能康复系统,先是获得了TFDA颁发的《医疗器械注册证》,接着又成功通过了欧盟的CE认证。这些认证不仅是对虚之实 21世纪经济报道记者吴文汐 北京报道 3月5日,十四届全国人大二次会议在人民大会堂开幕,国务院总理李强作政府工作报告。“加强生态文明建设,推进绿色低碳发展”被作为2024年的重要任务 2024年3月8日(星期五)上午9时,十四届全国人大二次会议第二次全体会议将在人民大会堂举行。 记者可凭会议制发的记者证件提前90分钟起,从人民大会堂东门南侧第一个门经安检入场,凭二楼记者证件在大礼堂二楼前三、五、七区“ 。本文链接:汉威科技新品发布!护航半导体产业电子气体安全http://www.sushuapos.com/show-1-19598-0.html
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