近日，西安交通大学蒋庄德院士、赵玉龙教授团队完成的“高精度石英谐振MEMS加速度计”项目通过中国微米纳米技术学会组织的科技成果评价。评价会上，专家组一致认为，该项目为下一代惯性级加速度计的发展与应用奠定基础。
科技成果评价会现场。西安交通大学供图
据了解，专家组由中国工程院院士、中国兵器工业第203研究所研究员邹汝平，中国航天第九研究院第十六研究所研究员、副所长王建青，西北工业大学教授苑伟政，中国船舶集团有限公司第七〇五研究所研究员、总工程师史小锋，中航工业西安飞行自动控制研究所研究员、副总工程师杨卫民组成。
项目团队成员有西安交通大学教授刘红忠、赵玉龙，副教授李村，以及助理研究员李波和白冰。
专家组听取了项目团队关于技术研发总结报告及演示后，对该项目评价资料进行了全面、深入的审查评估，最终经严格质询和充分讨论形成了该项成果达到国际先进水平的评价意见。
“高精度石英谐振MEMS加速度计”项目突破了一体式、双对置、差动式石英谐振MEMS加速度计敏感结构等关键技术，成功开发出高精度石英谐振MEMS加速度计，为下一代惯性级加速度计的发展与应用奠定了基础。
据介绍，该成果技术复杂，研究难度大，核心关键技术自主可控，关键技术指标达到国际先进水平。成果已为多军种的惯性导航系统、惯性测量单元、微型定位导航授时系统的开发提供了有力支撑，满足了航空、航天、兵器等领域装备对高精度、小型化、低成本加速度计的迫切需求，具有显著的社会和经济效益。
据中国微米纳米技术学会的李娟主任在评价会上介绍，中国微米纳米技术学会是国家一级学会，是中国科协团体会员单位，也是中国科协智能制造学会联合体、先进材料学会联合体及“科创中国”联合体成员单位，致力于推进微米纳米技术这一前沿科学领域的研发与产业化。通过这次科技成果评价会，再次证明了中国微米纳米技术学会在推动科技成果评价与转化中的地位。学会希望能够与更多科研机构和企业加强合作，将更多优秀的科技成果通过进行评价和推广。
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